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BeschreibungPhotolithography etching process (DE).svg
English: Simplified illustration of dry etching using positive photoresist during a photolithography process in semiconductor microfabrication. Note: Not to scale.
Deutsch: Vereinfachte Darstellung des Trockenätzens einer Oxidschicht mithilfe eines Fotolithografieprozesses mit positivem Fotoresist. Hinweis: Nicht maßstabsgetreu.
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Bildtitel
Vereinfachte Darstellung des Trockenätzens mit positiven Fotoresist während eines Fotolithografie-Prozess in der Halbleitermikrofertigung von CMG Lee gezogen. Hinweis: Nicht maßstabsgetreu.