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BeschreibungMicrochip for Carbon Nanotube Field Effect Transistors fabrication.jpg
English: Scanning Electron Microscopy image of a die with Carbon Nanotubes based Field Effect Transistors to be fabricated. Image obtained during one of the fabrication steps, after hydrofluoric (HF) acid wet etching and SF6 based Inductively Coupled Plasma dry etching steps. Glowing structures in the middle are charged photoresist residues. In this chip design each square test pad represents transistor's source or drain electrodes, across which single-walled Carbon Nanotube will be suspended during the subsequent fabrication stages. Scale: the width of the outermost square test pads is 150 micrometers. SEM image and fabrication by Aidar Kemelbay (NLA, Nazarbayev University), with the help of Dr. Emine Cagin (NTB Buchs, Switzerland) performed at FIRST - Center for Micro- and Nanoscience, ETH Zurich. Photolithography mask design - Dr. Kiran Chikkadi (ETH Zurich, MNS group).
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Breite
1.024 px
Höhe
768 px
Art der Kompression
Unkomprimiert
Pixelzusammensetzung
Palette
Kameraausrichtung
Normal
Anzahl Komponenten
1
Horizontale Auflösung
72 dpi
Vertikale Auflösung
72 dpi
Software
Adobe Photoshop CS6 (Macintosh)
Speicherzeitpunkt
00:18, 9. Jan. 2016
Farbraum
Nicht kalibriert
Digitalisierungszeitpunkt
17:44, 8. Jan. 2016
Datum, zu dem die Metadaten letztmalig geändert wurden