Datei:MEMS barometer capacitive Principal.svg
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Beschreibung
| Beschreibung |
English: MEMS barometer capacitive Principal.
The diaphragm is deflected by atmospheric pressure. The deformation of the diaphragm changes the distance and thus capacity betwhen top and bottom electrode. |
| Datum | |
| Quelle | Eigenes Werk |
| Urheber | MichaelFrey |
references
- https://www.researchgate.net/figure/Schematic-view-of-an-absolute-a-differential-b-and-gauge-c-silicon-MEMS-pressure_fig4_341403794
- https://www.semanticscholar.org/paper/MEMS-based-capacitive-pressure-sensors-with-sensing-Nguyen-Pillatsch/43af7821f778d98006dcf20f62b7cfa69c4824cb/figure/0
- https://www.semanticscholar.org/paper/Fabrication-and-Performance-of-MEMS-Based-Pressure-Chen-Chang/bd01a938229002dee69c86d8732af9f1d8ff3eca/figure/2
- https://www.researchgate.net/figure/Early-silicon-based-pressure-sensor-fabricated-with-MEMS-i-Complete-Si-wafer-based_fig1_335700347
- https://www.avnet.com/wps/portal/abacus/solutions/technologies/sensors/pressure-sensors/core-technologies/mems/
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