Datei:Fraunhofer IPMS Im AME75-Prozess gefertigte Mikroscanner auf einem BSOI-Wafer.jpg
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| aktuell | 11:43, 8. Jun. 2011 | Kein Vorschaubild vorhanden | 501 × 401 (133 KB) | wikimediacommons>Cepheiden | {{Information |Description={{de|1=Mit dem Fraunhofer AME75-Prozess fertig prozessierte Mikroscanner bei designspezifischer Strukturierung ausgehend von einem blanken BSOI-Wafer.}} |Source=*File:Fraunhofer_IPMS_Mikroscanner_auf_einem_BSOI_Wafer.jpg | |
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