Datei:DRIE Bosch process.png
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Beschreibung
| Beschreibung |
English: Diagram of the Bosch process of w:Deep reactive-ion etching.
Deutsch: Verfahrensschritte DRIE
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| Datum | (UTC) |
| Quelle | Modification of de:Bild:Verfahrensschritte-DRIE.png |
| Urheber | Gurgelgonzo (original), Smack (talk) (modification) |
| Genehmigung (Weiternutzung dieser Datei) |
Public domain |
| Andere Versionen | de:Bild:Verfahrensschritte-DRIE.png |
Lizenz
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| Version vom | Vorschaubild | Maße | Benutzer | Kommentar | |
|---|---|---|---|---|---|
| aktuell | 02:21, 9. Jan. 2007 | | 172 × 637 (12 KB) | wikimediacommons>Smack | {{Information |Description= {{en|Diagram of the Bosch process of w:Deep reactive-ion etching. # Structure before etching. (a): Masking layer # Etch # Passivate # Etch # Structure after many etch steps # After stripping passivation and mask}} |Source= |
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