Datei:Step and Scan DE.svg
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Originaldatei (SVG-Datei, Basisgröße: 200 × 300 Pixel, Dateigröße: 41 KB)
Beschreibung
| Beschreibung |
Deutsch: Prinzipdarstellung der Belichtung von Wafern nach dem Step-and-Scan-Prinzip. Dabei wird eine Teilmaske mehrfach an verschiedenen Positionen auf dem Wafer projiziert. Pro Schritt erfolgt die Belichtung streifenförmig über die Maske. |
| Datum | |
| Quelle | Eigenes Werk |
| Urheber | Cepheiden |
Lizenz
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| Version vom | Vorschaubild | Maße | Benutzer | Kommentar | |
|---|---|---|---|---|---|
| aktuell | 12:47, 1. Sep. 2025 | | 200 × 300 (41 KB) | wikimediacommons>思考的苇丛 | File uploaded using svgtranslate tool (https://svgtranslate.toolforge.org/). Added translation for zh. |
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